THz-TDR 太赫兹 时域反射计 芯片缺陷检测
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太赫兹时域反射计（THz-TDR）的工作原理
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太赫兹脉冲时域反射计利用两个的飞秒激光器分别泵浦光电导电线，产生高频的太赫兹脉冲信号。飞秒激光器的中心波长1550nm，脉冲宽度50fs。其中，一个飞秒激光器的重复频率50MHz，另一个激光器的重复频率稍有区别。采用两个激光器的重复频率稍有差别的缘由在于，利用两个激光器的差频延迟，可以实现高频太赫兹信号的产生和探测。
高频太赫兹信号通过探针接触芯片的管脚，高频太赫兹信号在芯片封装的引线中传播。具体过程如下：
1、当芯片封装没有开断路时，高频太赫兹沿着引线向前传播；
2、当芯片封装的引线等出现开路时，将反射回正峰脉冲信号；
3、当芯片封装引线出现短路时，将反射回负峰脉冲信号。
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太赫兹时域反射计的优势
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与传统时域反射计相比，太赫兹时域反射计具有定位微米级失效位置的优势。主要表现在：
1、太赫兹时域脉冲反射计发送的信号为太赫兹脉冲信号。传统时域反射计的上升沿时间通常大于200ps，而太赫兹脉冲时域反射计的上升沿时间约12ps。
2、 由于使用示波器产生脉冲信号，传统时域反射计的信号抖动约1ps；而太赫兹脉冲时域反射计的信号通过飞秒激光产生，信号抖动小于30fs。
传统时域反射计的定位分辨率几百微米，由于太赫兹脉冲时域反射计的信号抖动很小，可以保证小于5um的故障定位分辨率。
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主要参数
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主要参数
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可对2.5D IC和3D IC进行故障分析；
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故障区域检测分辨率：< 5μm；
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测量距离：100mm；
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上升沿时间：12ps；
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30s级测量时间，可实现精确的故障位置识别；
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配套半自动探针台，实现TDR自动测量，减少人为错误；
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提供-60℃ to 300℃ DUT温度控制；
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配套TDR标准分析软件，可选配故障位置查看器软件。
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软件界面及测量实例
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